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    压电晶体生长炉


     

    产品简介:

    本设备是公司新研发的用于钽酸锂(LT)和铌酸锂(LN)等材料的压电晶体生长的设备。主要用于CZ法单晶的生产,全自动控制系统可提高晶体品质和一致性,过程可控稳定性高,减少人工干预、工作强度和成本。


     

    压电晶体生长炉 技术参数

     

    技术参数:

    炉体内腔尺寸:φ800mm×1000mm

    外形尺寸:1000mm×1000mm×2500mm

    最大长晶尺寸:6英寸

    籽晶轴提拉行程:450mm

    提拉运动最小线速度:0.01mm/hr

    快速提拉速度:200mm/min

    籽晶轴转动速度:0.1100r/min

    称重系统:称重传感器量程20kg;信号放大器显示精度0.01g

    控制软件:提拉法等径控制软件,采用上称重方法来控制晶体直径,晶体形状可随意设计,PID及运动参数可随晶体形状过渡变化,屏幕上数据交叉显示提供生长过程中数据综合分析工具。

    加热电源:中频感应加热

    加热最大输出功率:30KW

    真空系统:机械泵抽真空

    水冷系统:炉腔、加热线圈流量控制循环冷却。
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